PROCOM 化合物生长工艺软件

简要说明 试用

PROCOM 是为化合物半导体 MOCVD（有机金属化学气相沉积）生长工艺专门设计的 2D/3D 软件。基于化学动力学和质量/热量转换模型，当给定了反应室形状、化学气体种类和生长条件参数，PROCOM 就可以给出半导体薄膜的生长速率、合成物成分、均匀的厚度分布以及杂质和缺陷分布。